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垂直对准校验工具/光刻机用

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光刻掩膜板

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光刻掩膜板

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光刻机掩膜版缺陷检测装置

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激光器(旧.用于光掩膜设备起光刻光掩膜的作

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掩膜板(ASML.已制成特定形状.光刻机用.经光学加工已装

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激光器(旧.用于光掩膜设备起光刻光掩膜的作用.品牌COH

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光刻机;Midas;将设计图形线路利用激光直写在涂有光刻胶之芯片等基材上;在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚焦光实现曝光

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无掩膜直写光刻机;Midrotechnik GmbH;将设计图形线路利用激光直写在涂有光刻胶之芯片等基材上;在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚集光实现曝光

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光刻机镜头组件校准工具

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佳能光刻机标准测试光罩

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光罩/光刻机用/测试校准晶圆

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激光校准器(ULTRATECH.光刻机用)

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校准仪/光刻机用/机械校准原理

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气体混合物/光刻机准分子激光用/43.5升/罐

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光刻工艺位置校准片SET GR/MAT CAL WAF 300 SI NO

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ARF准分子激光器;用于光刻系统中光学元件与组件的集成调试等;GAM LASER

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反射玻璃块(ASML,反射紫外线光用于校准系统,光刻机用,石英制,经光学加工,已裁切成型)

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位置传感器(ASML,通过电磁感应原理校准硅片在硅片平台上的位置,未装有读数装置,光刻机专用)

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彩膜光刻胶(绿色光阻)

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光刻胶（彩膜光刻胶）

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防水贴膜/100%聚乙烯/光刻机用/SERV.642.63625

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铝制贴膜(工业用.贴于光刻机机台上.密封防水

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滤光镜(XT光刻机用.通过镜片上的镀膜来过滤除

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防水贴膜(ASML,贴在硅片平台上防水用,丙烯酸树脂,非成卷,自粘性,方形塑料衬背45X45CM,膜23X23CM,光刻机用)

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防水贴膜(ASML,贴在硅片平台上防水用,丙烯酸树脂,厚度不超过0.2MM,有衬背,衬背为塑料制,非成卷,扁平状,光刻机用)

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防水贴膜(ASML,贴在硅片平台位置传感器防水用,丙烯酸树脂,厚度不超过0.2MM,有衬背,衬背为塑料制,非成卷,扁平状,光刻机用)

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光刻胶

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光刻胶

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光刻胶

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去光刻胶液

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