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TPX21F_M10B110B01显示器
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光刻机;Midas;将设计图形线路利用激光直写在涂有光刻胶之芯片等基材上;在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚焦光实现曝光
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其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置
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将电路图投影到感光半导体材料上的装置
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扫描式曝光机HIGH RESOLUTION SCANNER
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无掩膜直写光刻机;Midrotechnik GmbH;将设计图形线路利用激光直写在涂有光刻胶之芯片等基材上;在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚集光实现曝光
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边缘曝光机(Edge Exp)