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偏振器组件(品牌:KLA-TENCOR,晶片缺陷检测仪专用,由固定底座,固定框架,偏振镜和马达组成,将普通光源发出的散射光转换成偏振光,用来测量晶圆表面膜厚)
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偏振器组件(品牌:KLA-TENCOR,晶片缺陷检测仪专用,由固定底座,固定框架,偏振镜,传感器,电路板和马达组成,将普通光源发生的散射光转换成偏振光,用来测量晶圆表面膜厚)
