查看新版本：
测光仪器
9031410000
制造半导体器件（包括集成电路）时检验半导体晶圆、器件（包括集成电路）或检测光掩模或光栅用的仪器和器具
9031492000
线性位移传感器(MAGNESCALE.检测光刻机内部部
9031492000
线性位移传感器(MAGNESCALE.检测光刻机内部部件
9026100000
水位检测器(ASML.用于检测光刻机冷却系统中水
9031499090
光路检测装置(ASML.通过光学反射原理检测光的
9031499090
光路检测器(ASML.光刻机用.通过检测光信号的大
9032899010
水平控制组件(NIKON.通过检测光刻机曝光品台水
9031499090
光学传感器(光刻机用.利用光学原理检测光罩的
9031499090
光强度测试仪(通过光电转换检测光强度.无测试
9031499090
线性位移传感器(SONY.检测光刻机内部部件的位移
9031499090
光强度测试仪(通过光电转换检测光强度.无测试结
9031499090
线性位移传感器(SONY,检测光刻机内部部件的位移量及
9031499090
光电探测器(品牌RUDOLPH.用于探测光信号并转换成电信
9031499090
加速计传感器(NIKON,用于检测光刻机内运动部件的加速
9031499090
加速计传感器(NIKON.根据光学原理检测光刻机内运动部
9031499090
光路检测器(ASML.光刻机用.通过检测光信号的大小.检测
9031499090
线性位移传感器(SONY,检测光刻机内部部件的位移量及方
9031499090
光学传感器(光刻机用.利用光学原理检测光罩的位置.当
9002909090
滤光镜(晶片缺陷检测仪用.用于过滤杂光.保留可检测光.
9013809000
光电接收器;输出电压信号;光敏元件将带测光转化为电流信号;NEWPORT
9002909090
滤光镜(品牌:KLA-TENCOR,晶片缺陷检测仪用,经光学加工已装配,把一部分光滤掉,保留可检测光,带固定盖板和底座)
9031499090
照度计(品牌OAI,用于检测晶片表面的光亮度,通过测光探头吸光后把光能转换成电能在界面上产生光电效应,从而测的数据)
9031499090
光信号感测器(品牌:KLA-TENCOR,晶片缺陷检测仪专用零件,由光电传感器,电路板,和外壳组成,传感器感测光信号,通过电路板转换成机台可识别的电信号)
