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离子BAR
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离子发射针ION QUAD BAR
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离子注入机专用固定带BAR.CATHODE.IHC 80
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离子注入机专用固定条BAR.FILAMENT.VERSION
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真空泵(EBARA,抽真空,抽气能力1200升/分钟,离子
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离子泵(抽速100m3/秒,极限真空压力<1X10-11mbar)
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真空泵(EBARA,抽真空,抽气能力1200升/分钟,离子注入机用)