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商品描述
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****109090
臭氧浓度控制器(用于制造半导体器件设备化学气相沉淀机内部,品牌AMAT,原理是开环控制,包含检测机控制部分,工作原理为监测臭氧浓度,并在浓度不符合要求是控制阀门从而使气体浓度达标.非数控装置,电压小于1000V)