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8486101000
利用温度变化处理单晶硅的机器及装置
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熔炉
8486909900
过期
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ESC接口盘 | 进料
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夹爪模组 | 贴膜
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压膜轮用滑轨组 | 切割
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X轴套件/硅片切割机用 | 自动
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8486109000
其他制造单晶柱或晶圆用的机器及装置
子目注释
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实例
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高精度光学浮
区
法单晶炉
8486403900
其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备
子目注释
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显影I
区
BM传送系统,连接BM工序各个环节,实现玻璃基板在各道工序之间的流转,VESSEL