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其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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离子注入机静电吸盘驱动座

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过期
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硅片边缘探测装置(ASML,真空吸附住硅片并通过马达驱动 | 驱动器 | 驱动环 | 驱动盘 | 驱动轴

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升降、搬运、装卸机器用零件或附件
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驱动架

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引线键合装置用零件或附件
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驱动器 | 驱动板

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其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置
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驱动轴