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其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备
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制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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蚀刻
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制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置
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镀膜
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其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置
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