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9030
9030100000
离子射线的测量或检验仪器及装置
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不带记录装置的检测电压、电流及功率的其他仪器
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9030849000
其他电量的测量或检验仪器及装置
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调试
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测试或检验半导体晶圆或器件(包括集成电路)用的仪器
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IC测试
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品目9030所属货品的其他零件及附件
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测试板