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其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备
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其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备
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其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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其他制造单晶柱或晶圆用的机器及装置
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IC工厂专用的自动搬运机器人
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升降、搬运、装卸机器用零件或附件
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