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主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置
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其他制造平板显示器用的机器及装置
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其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置
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液晶显示板画面修复机

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其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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修复陶瓷电路板短路金型用激光修补机