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制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置
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PECVD系统
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其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备
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拆焊系统
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塑封机
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塑封系统
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制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置
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溅镀系统
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其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备
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钝化系统