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其他测量、检验仪器、器具及机器
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光栅测量装置
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坐标测量仪
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制造半导体器件(包括集成电路)时检验半导体晶圆、器件(包括集成电路)或检测光掩模或光栅用的仪器和器具
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编码器光栅