9030100000

离子射线的测量或检验仪器及装置
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定位设备 | 质控设备

9030339000

不带记录装置的检测电压、电流及功率的其他仪器
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测量设备

9030849000

其他电量的测量或检验仪器及装置
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调试设备

9030820000

测试或检验半导体晶圆或器件（包括集成电路）用的仪器
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IC测试设备